年度95
等級SCI
論文名稱Investigation of ICP Etching of CVD Diamond Film
全部作者Chao, Choung-Lii; Chou, Wen-Chen; Chien, Chun-Yu; Ma, Kung-Jenn; Lin, Hung-Yi; Wu, Tung-Chuan
卷數中國機械工程學刊=Journal of the Chinese Society of Mechanical Engineers 28(2)，頁169-174
ISSN(ISBN)0257-9731
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備註期刊論文