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    年度90
    論文名稱The SOI-like method of reducing the die size of bulk-micromachined sensors
    全部作者楊龍杰; Yang, Lung-jieh; 康尚文; Kang, Shung-Wen
    卷數Sensors and materials 14(1), pp.23-34
    ISSN(ISBN)0914-4935
    使用語言英文
    備註期刊論文