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    年度87
    論文名稱A method using V-grooves to monitor the thickness of silicon membrane with m resolution
    全部作者Chang, Pei-zen; 楊龍杰; Yang, Lung-jieh
    卷數Journal of micromechanics and microengineering 8(3), pp.182-187
    ISSN(ISBN)0960-1317
    使用語言英文
    備註期刊論文
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