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    年度110
    等級其他
    論文名稱Foundry Service of CMOS MEMS Processes and the Case Study of the Flow Sensor
    全部作者Lung-Jieh Yang; Reshmi Waikhom; Horng-Yuan Shih; Yi-Kuen Lee
    卷數Processes 10(7), 1280
    ISSN(ISBN)2227-9717
    使用語言英文
    備註期刊論文
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