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    年度88
    類別
    專利名稱由矽晶體加工法製作之小型微壓力計及其製作方法
    專利國別zh_TW
    專利人楊龍杰; Yang, Lung-jieh; 張益敏
    發表日期2000-05
    終止日期2000-05
    所屬計畫案專利