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    年度87
    名稱自動拋光系統之研發-子計畫I:拋光自動化中之接觸力分析及量測(III)
    摘要自動拋光系統之研發-子計畫I:拋光自動化中之接觸力分析及量測(III)
    全部作者劉昭華
    發表日期1999-01
    備註研究報告