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    年度87
    論文名稱半導體微型加速度計梳狀結構之流場阻尼分析
    會議名稱中國機械工程學會第十五屆全國學術研討會論文集，臺南，頁413-417
    會議開始時間1998-11-01
    全部作者楊龍杰; 李其源; 張培仁
    備註會議論文
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