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    年度94
    論文名稱以聚對二甲苯微機電技術製作之熱挫曲式微型致動器
    會議名稱第九屆奈米工程暨微系統技術研討會
    會議開始時間2005-11-01
    全部作者林岳正; 林宏樺; 王俊民; 楊龍杰; Yang, Lung-jieh; 林啟萬; 楊燿州
    備註會議論文