年度96
等級EI
論文名稱3D displacement measurement with pico-meter resolution using single heterodyne grating interferometry
全部作者Hsu, Cheng-chih; Lee, Ju-yi; Wu, C. C.; Shih, H.C.
卷數Key Engineering Materials 381-382, pp.283-286
ISSN(ISBN)1662-9795
使用語言英文
備註期刊論文