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年度
93
論文名稱
Surface morphology and sub-surface damaged layer of various glasses machined by 193 nm ArF excimer laser
全部作者
Chao, C.L.; Liao, Yunn-shiuan; Chen, Ying-Tung
卷數
SPIE 5715
使用語言
英文
備註
期刊論文
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