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年度92
論文名稱聚對二甲苯(parylene)微機電製程簡介
全部作者楊龍杰 ; 林韋至 ; 戴霆樘 ; 林宏樺 ; 黃恆凇
卷數微系統暨奈米科技協會會刊 11，頁26-42
ISSN(ISBN)1814-909X
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