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年度90
論文名稱The SOI-like method of reducing the die size of bulk-micromachined sensors
全部作者楊龍杰; Yang, Lung-jieh; 康尚文; Kang, Shung-Wen
卷數Sensors and materials 14(1), pp.23-34
ISSN(ISBN)0914-4935
使用語言英文
備註期刊論文
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