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年度87
論文名稱半導體微型加速度計梳狀結構之流場阻尼分析
會議名稱中國機械工程學會第十五屆全國學術研討會論文集,臺南,頁413-417
會議開始時間1998-11-01
全部作者楊龍杰; 李其源; 張培仁
備註會議論文