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年度95
論文名稱Investigation of ICP Etching of CVD Diamond Film
會議名稱中國機械工程學刊 28(2)，頁169－174
會議開始時間2006-10-23
全部作者Chao, Choung-Lii; Chou, Wen-Chen; Chien, Chun-Yu; Ma, Kung-Jenn; Lin, Hung-Yi; Wu, Tung-Chuan
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