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持續改善成效
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年度
91
論文名稱
感應耦合電漿蝕刻InGaN/GaN材料特性研究
會議名稱
第十一屆國防科技學術研討會暨國防工業訓儲預(士)研發成果展：國家科技發展與國防科技自主
會議開始時間
2002-11-14
全部作者
石正宜; 趙崇禮; 馬廣仁; 陳大同
備註
會議論文
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