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年度
88
論文名稱
Micro Pressure Sensor with Sub-mm Size by the Silicon Bulk Micromachining
會議名稱
1999年中華民國電子材料與元件研討會
會議開始時間
1999-11-25
全部作者
Yang, Lung-Jieh; Chen, Ming-Cheng; Chang, Chin-Jung
備註
會議論文
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