淡江大學機械與機電工程學系

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教師

年度89

論文名稱The Surface Morphology and Sub-surface Characteristics of ELID-Ground Single Crystal Silicon

會議名稱第四屆奈米工程暨微系統技術研討會

會議開始時間2000-11-01

全部作者Chao, C. L.; Ma, K. J.; Liu, D. S.; Sheu, C. C.; Sheu, S. C.; Lin, Y. S.; Lin, H. Y.; Chang, F. Y.

備註會議論文