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    年度91
    等級
    書名非矽質的微細加工低溫製程
    出版社新竹市：行政院國家科學委員會精密儀器發展中心
    全部作者楊龍杰
    出版日期2003-07-01
    ISSN(ISBN)9570142650
    所屬計畫案非矽質的微細加工低溫製程
    備註專書單篇
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