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    年度98
    類別
    專利名稱拋光墊修整器的表面結構的偵測裝置及方法
    專利國別zh_TW
    專利人趙崇禮; 陳盈同; 宋健民
    發表日期2010-03
    終止日期2010-03
    所屬計畫案專利