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    年度88
    論文名稱Micro pressure sensor with submillimeter size by the silicon bulk micromachining
    會議名稱SPIE's symp. on micromachining and microfabrication v.3876-32
    會議開始時間1999-09-20
    全部作者楊龍杰; Yang, Lung-jieh; Chang, Y. M.
    備註會議論文
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