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    年度94
    論文名稱以互補式金氧半標準積體電路製程及後加工程序製作50微米尺寸之力感測器
    會議名稱第九屆奈米工程暨微系統技術研討會
    會議開始時間2005-11-01
    全部作者廖威豪; 許竣為; 王信雄; 楊龍杰; Yang, Lung-jieh
    備註會議論文