淡江大學機械與機電工程學系

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名稱	無線奈米生醫系統研發中心
分機電話	2661
位置	K001A
參與教授	康尚文 / 楊龍杰
設備	無塵室光微影蝕刻設備光阻塗佈機曝光機化學清洗槽探針臺電子束蒸鍍機濺鍍機晶片切割機
研究方向	微機電元件研發測試及製造