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    年度100
    等級其他
    論文名稱A PDMS-based thermo-pneumatic micropump with Parylene inner walls
    全部作者Yang, Lung-Jieh; Lin, Tzu-Yuan
    卷數Microelectronic Engineering 88(8), pp.1894-1897
    ISSN(ISBN)0167-9317
    使用語言英文
    備註期刊論文
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