研究實驗室-奈微米機電實驗室

名　　稱：	奈微米機電實驗室
位　　置：	K001A
參與教授：	康尚文教授、楊龍杰教授
研究方向：	微機電元件研發測試及製造
設　　備：	無塵室、光微影蝕刻設備、光阻塗佈機、曝光機、化學清洗槽、探針臺、電子束蒸鍍機、濺鍍機、晶片切割機